创新真空技术 驱动工业未来

大连瑞科科技发展有限公司致力于为全球客户提供高性能、高可靠性的真空技术与装备解决方案,覆盖半导体、光伏、航天、科研等高端制造领域。

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关于大连瑞科

深耕真空技术十五年,成为行业领先者

大连瑞科科技发展有限公司成立于2008年,总部位于中国重要的工业基地——大连。公司自成立以来,始终专注于真空技术及其应用装备的研发与制造,现已发展成为集研发、生产、销售和服务于一体的国家级高新技术企业。

公司占地面积超过3.5万平方米,拥有现代化生产车间和先进的研发测试中心。我们汇聚了一支由博士、硕士领衔的近百人研发团队,并与大连理工大学、中国科学院等多家科研机构建立了长期战略合作关系。

RYCO产品已通过ISO9001:2015质量管理体系认证、CE认证和欧盟RoHS环保指令,产品远销全球40多个国家和地区,在半导体、光伏新能源、航天航空、科研仪器等领域建立了良好的市场声誉。

了解技术优势
质量认证

通过ISO9001、CE、RoHS等国际认证,品质达到国际先进水平。

全球服务

产品销往40多个国家,在欧美、亚洲设立服务网点,提供本地化支持。

研发创新

每年投入营收8%以上用于研发,拥有专利技术87项,其中发明专利23项。

专业团队

187名员工中,技术研发人员占比35%,核心团队拥有15年以上行业经验。

15
行业经验
40+
国家与地区
87
专利技术
1200+
成功案例

产品中心

我们提供全面的真空产品线,涵盖从基础真空泵到复杂真空系统的完整解决方案,满足不同行业、不同工艺的苛刻要求。

干式螺杆真空泵
干式螺杆真空泵

RYCO-GS系列干式螺杆真空泵采用无油设计,抽速范围10-1200 m³/h,极限真空可达0.1 Pa。特别适用于半导体、光伏等清洁工艺环境,避免油污染。

  • 无油清洁真空
  • 低维护成本
  • 高效节能设计
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磁悬浮分子泵
磁悬浮分子泵

RYCO-MB系列磁悬浮分子泵采用主动磁轴承技术,转速可达90,000 RPM,极限真空10⁻⁸ Pa。无机械磨损,免维护,特别适合高真空、超高真空应用。

  • 无接触悬浮技术
  • 超高转速
  • 零维护运行
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真空镀膜系统
真空镀膜系统

RYCO-CS系列多功能真空镀膜系统,集成PVD、CVD等多种镀膜工艺,适用于光学镀膜、工具涂层、半导体薄膜沉积等高端应用领域。

  • 模块化设计
  • 工艺灵活性高
  • 智能化控制系统
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发展历程

2008年

大连瑞科科技发展有限公司正式成立,专注于真空泵维修与再制造服务。

2012年

自主研发的首台干式螺杆真空泵成功下线,获得国家创新基金支持。

2015年

通过ISO9001质量管理体系认证,产品开始出口东南亚市场。

2018年

新生产基地投产,产能提升300%,获评"辽宁省高新技术企业"。

2021年

磁悬浮分子泵研发成功,打破国外技术垄断,进入半导体核心供应链。

2023年

年销售额突破2.5亿元,建立欧洲服务中心,全球化布局进一步完善。

技术优势

核心技术创新

我们拥有完全自主知识产权的螺杆转子型线设计技术,通过先进的五轴联动加工中心保证转子精度达到微米级。自主研发的磁悬浮控制系统,实现分子泵转子主动振动抑制,提高稳定性和寿命。

在真空系统集成方面,我们开发了智能真空控制系统(IVCS),可实现多泵组协同控制、故障预警和能耗优化,帮助客户提升生产效率20%以上。

先进制造能力

公司配备德国DMG五轴加工中心、日本MAZAK车铣复合中心等高精度数控设备,关键零部件加工精度达到IT5级。洁净装配车间达到ISO Class 7标准,确保半导体级产品的洁净度要求。

我们建立了全面的检测体系,包括三坐标测量机、激光干涉仪、动平衡机等,对每一台出厂产品进行严格测试,确保性能指标达到或超过设计标准。

全生命周期服务

我们提供从方案设计、安装调试到运营维护的全方位服务。远程监控系统可实时监测设备运行状态,提前预警潜在故障,减少非计划停机时间。

在全球主要市场设立备件库,保证24小时内发出紧急备件。技术团队提供定期巡检、预防性维护和操作培训,延长设备使用寿命,降低客户总拥有成本。

应用案例

半导体制造车间
半导体制造

为国内某知名半导体企业提供干式真空泵组,用于12英寸晶圆生产线。系统连续运行超过20,000小时无故障,真空稳定性优于±1%,帮助客户提升良品率2.3%。

项目地点:上海 | 交付时间:2022年8月

光伏电池生产线
光伏新能源

为某光伏龙头企业提供PERC电池生产线真空系统,集成16台干式泵和4台分子泵。系统能耗降低15%,抽气时间缩短20%,助力客户实现GW级产能扩张。

项目地点:江苏 | 交付时间:2023年3月

新闻动态

企业新闻 2024-03-15
RYCO真空与德国合作伙伴签署战略协议

大连瑞科科技发展有限公司与德国知名真空技术企业达成战略合作,双方将在磁悬浮真空泵技术研发和市场拓展方面深度合作,共同开发下一代半导体制造专用真空装备。

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技术突破 2024-02-28
新型节能干式真空泵通过国家能效认证

公司最新研发的GS-800E节能型干式螺杆真空泵通过国家节能产品认证,实测能耗比同类产品降低18%,噪音降低5分贝,为绿色制造提供高效解决方案。

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行业展会 2024-01-10
RYCO真空将参展SEMICON China 2024

公司确认参加2024年3月在上海举办的国际半导体展览会(SEMICON China),展位号E7-7354,将展示最新半导体制造真空解决方案和产品。

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